扩散炉
设备主要技术指标：
1. 外型形式：单管立式，加热
2. 硅片尺寸：156*156方片/准方片
3. 工作温度范围：400-1200℃
4. 恒温区长度：≥300mm，单次可装载10片156*156方形硅片，背靠背装片模式，配石英舟
5. 恒温区精度：±0.5℃/300mm
6. 气路系统：三路气体系统，采用进口MKS质量流量计、气动阀、等进口部件
7. 温度控制系统：PLC+触摸屏可编程控制方式，自动加手动可方便切换，温控系统采用进口温控仪，温度、流按工艺自动调节
8. 扩散方式：设备配置真空系统，支持负压扩散方式
9 尾气处理：设备配备尾气处理系统，采用溶液吸收发吸收尾气中的有害成分
10.冷却系统：设备配有冷水系统，用于保护密封装置及冷却加热器外壳
11. 报警及保护：超温、断偶、缺水及真空异常系统自动报警及保护
| 成立日期 | 2007年06月02日 | ||
| 法定代表人 | 姜新诚 | ||
| 注册资本 | 200 | ||
| 主营产品 | 炉体，扩散炉，链式烧结炉，真空烧结炉，异型加热器，水冷炉体等配套设备 | ||
| 经营范围 | 一般项目：工业自动控制系统装置制造；半导体器件专用设备制造；专用设备制造（不含许可类专业设备制造）；电子专用设备制造；电力电子元器件制造；电子元器件制造；半导体分立器件制造；光伏设备及元器件制造；环境保护专用设备制造；工业自动控制系统装置销售；电子产品销售；半导体分立器件销售；半导体照明器件销售；半导体器件专用设备销售；半导体照明器件制造；电子专用设备销售；光伏设备及元器件销售；工业机器人安装、维修；工业机器人销售；货物进出口；技术进出口；环境保护专用设备销售；非居住房地产租赁。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动） | ||
| 公司简介 | 青岛晨立电子有限公司成立于2009年，是半导体设备及零部件、电子设备及电子元器件生产、研发、销售厂家。为客户提供先进材料热处理、高精度电加热设备及系统集成等全套解决方案。主要产品：高低温扩散炉、实验炉、共晶炉、烧结炉、加磁炉、高精度智能温度控制系统和替代进口的扩散炉炉体等，同时承接各种微电子生产线，进口半导体专用设备的翻新升级改造及各大专院校科研院所的非标研发定制工作。公司本着和谐、共赢，以“质量 ... | ||
