扩散炉
设备主要技术指标：
1. 外型形式：单管立式，加热
2. 硅片尺寸：156*156方片/准方片
3. 工作温度范围：400-1200℃
4. 恒温区长度：≥300mm，单次可装载10片156*156方形硅片，背靠背装片模式，配石英舟
5. 恒温区精度：±0.5℃/300mm
6. 气路系统：三路气体系统，采用进口MKS质量流量计、气动阀、等进口部件
7. 温度控制系统：PLC+触摸屏可编程控制方式，自动加手动可方便切换，温控系统采用进口温控仪，温度、流按工艺自动调节
8. 扩散方式：设备配置真空系统，支持负压扩散方式
9 尾气处理：设备配备尾气处理系统，采用溶液吸收发吸收尾气中的有害成分
10.冷却系统：设备配有冷水系统，用于保护密封装置及冷却加热器外壳
11. 报警及保护：超温、断偶、缺水及真空异常系统自动报警及保护
| 成立日期 | 2007年06月02日 | ||
| 法定代表人 | 姜新诚 | ||
| 注册资本 | 20 | ||
| 登记机关 | 即墨市工商行政管理局 | ||
| 主营产品 | 炉体，扩散炉，链式烧结炉，真空烧结炉，异性加热器，水冷炉体等配套设备 | ||
| 经营范围 | 一般经营项目:制售、维修电子产品、半导体设备、太阳能设备，销售工业自动化设备及售后服务，货物进出口，技术进出口（法律、行政法规禁止的项目除外，法律、行政法规限制的项目取得许可后方可经营）。（以上范围需经许可经营的，须凭许可证经营）。 | ||
| 公司简介 | 青岛晨立电子有限公司成立于2009年，是专业半导体工艺设备及先进材料专用设备研发、生产、销售厂家，是山东省半导体行业协会重点骨干企业，“专精特新”企业。为客户提供先进材料热处理、高精度电加热设备及系统集成等全套解决方案。主要产品：高低温扩散炉、实验炉、共晶炉、烧结炉、加磁炉、高精度智能温度控制系统和替代进口的扩散炉炉体等，同时承接各种微电子生产线，进口半导体专用设备的翻新升级改造及各大专院校科研院 ... | ||
